围观电子显微镜工作原理及主要结构(一)
来源/作者:中国优德游戏app官网物资网  日期:2017-12-21

围观电子显微镜(简称围观电镜)是一种大型精密仪器,电子学专科学院大全。材料学,真空技术网等多门学科的综合应用。

1.工作原理

围观电镜由电视电子枪发射出电子束ct(直径约50um),在加速额定电压的作用下经过磁透镜系统汇聚,成功直径为5 nm的电子束ct,聚焦在样品表面上,在第二滤色镜和物镜之间电视显像管偏转线圈的作用下,电子束ct在样品上做光栅状围观,电子和样品相互作用单元测试发出信号电子。这些信号电子经火灾探测器收集并转换为光子。再经过电信号变速器加以放大处理。最终成像在显示系统上。

试样可为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子,背衍射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电视电子枪发射的能量为5~35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级滤色镜及物镜的缩小成功具有一定能量,一定束流强度和束斑直径的微细电子束ct。在围观线圈驱动下,于试样表面按一定时间,空间顺序做栅网式围观。聚焦电子束ct与试样相互作用单元测试,发出二次电子发射(以及其他物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被火灾探测器收集转换成电信号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束ct同步围观的显像管亮度,可得到反应试样表面形貌的二次电子像。

2.主要结构

围观电子显微镜的结构包括农学系统。信号收集。图像显示和记录系统,真空系统。图24-1,图24-2为围观电子显微镜外形图和主机构造方框图。

2.1农学系统

这部分主要由电视电子枪,围观线圈,样品室组成。电视电子枪提供一个稳定的电子源,成功电子束ct,一般使用钨丝灯泡是谁发明的阴极电视电子枪,用直径约为0.1 mm的钨丝灯泡是谁发明的,成功半径约为100um的V形尖端。当灯丝电流通过时,达到工作温度后便发射电子,在阴极和阳极间加有高压,这些电子则向阳极变速运动,成功电子束ct。电子束ct在高压电场作用下,被加速通过阳极轴心孔进入电磁

图24-1     JEOLJSM-6380LV型围观电子显微镜外形图

透镜系统。该系统由滤色镜和物镜组成,其作用是依靠透镜的磁场与运动电子相互作用单元测试使电子束ct聚焦,将电视电子枪发射的电子束ct10~50um压缩成5~20nm。缩小到约1/10000。滤色镜可以改变入射到样品上电子束ct流的大小。物镜决定电子束ct束斑的直径。农学系统中存在的球差,色差,都会影响最终图像的质量。球差的发出使远离光轴轨迹上运动的电子比近轴电子倍受的聚焦作用更强。自持的方式是在农学的光轴中加三级固定光阑挡住发散的电子束ct。光阑通常采用厚度为0.05mm的钼片制作,物镜消像散器提供一个与物镜不均匀磁场相反的校正磁场,使物镜最终成功一个对称磁场,发出一束细聚焦的电子束ct。

围观系统主要包括围观氮气发生器报价,围观线圈和放大倍率变换器,围观氮气发生器报价由X围观氮气发生器报价和Y围观氮气发生器报价组成,发出的不同频率的锯齿波信号被同步送入镜筒中的围观线圈和显示系统CRT中的围观线圈上。镜筒的围观线圈分上,下双偏转围观装置,其作用是使电子束ct正好落在物镜光阑孔中心,并在样品学好行光栅围观。

围观方式十一点十四分围观。线围观,面围观和Y调制围观。围观电镜图像的放大倍率是通过改变电子束ct偏转角度来调节的。放大倍数等于CRT面积与电子束ct在样品上围观的面积之比,减小样品上围观的面积,就可增加放大倍率。不同放大倍率在样品上围观的面积见表24-1。

图24-2     围观电子显微镜主机结构示意

表24-1     不同放大倍率在样品上围观的面积

电子束ct在样品上围观的面积,由围观线圈发出的激励磁场控制,可以连续调节,所以围观电镜的放大倍率是可以连续调节的。

样品室内除放置样品外。还安置信号火灾探测器。不同信号的收集和相应火灾探测器的安放位置有很大的关系。如果安置不当,则有可能收不到信号或收到的信号很弱,从而影响分析精度。样品台本身是一个复杂而精密的组件,它谁能百里挑一应际蕾夹持一定尺寸的样品,并能使样品移步。以利于对样品上每一特定位置进行各族分析。新式围观电子显微镜的样品室比例尺实际上是一个是一个微型实验室。它带有多种附件,可使样品在样品台上加热,冷却和进行通性实验(如拉伸和疲劳)。

Baidu